发明名称 PRESSURE RELIEVING PELLICLE.
摘要 <p>Pellicule de masque de configuration comprenant un cadre périphérique, un film transparent s'étendant à travers la surface périphérique supérieure du cadre et un joint périphérique adhérant à la surface périphérique inférieure du cadre; l'ensemble formé par le cadre et par le joint comprend au moins un passage adhésif, continu et tortueux reliant une ouverture située dans la paroi intérieure de l'ensemble et une ouverture située dans la paroi extérieure dudit ensemble. Au moins une pellicule est montée sur un substrat à masque de configuration, afin de protéger la zone de configuration pendant la formation des images dans la fabrication de circuits intégrés.</p>
申请公布号 EP0548312(A1) 申请公布日期 1993.06.30
申请号 EP19920913957 申请日期 1992.04.28
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 STORM, GLENN, EDWARD
分类号 G03F1/64;G03F7/20 主分类号 G03F1/64
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利