| 发明名称 |
CIRCUIT ARRANGEMENT FOR A POWER SUPPLY DEVICE FOR EQUIPMENT USED IN PLASMA- AND SURFACE-TREATMENT-TECHNIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0534068(A3) |
申请公布日期 |
1993.06.30 |
| 申请号 |
EP19920111046 |
申请日期 |
1992.06.30 |
| 申请人 |
MAGTRON MAGNETO ELEKTRONISCHE GERAETE GMBH |
发明人 |
MARK, GUENTER |
| 分类号 |
H01L21/31;H02M7/537;H02M7/5387;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H02M7/538 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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