发明名称 FUNCTIONAL AT SPEED TEST SYSTEM FOR INTEGRATED CIRCUITS ON UNDICED WAFERS.
摘要 Système de contrôle numérique servant à contrôler de façon fonctionnelle les circuits intégrés non découpés, découpés et conditionnés se trouvant sur des tranches, à des fréquences de contrôle relativement élevées. Les composants primaires du système (20) comprennent un ensemble d'interface (22); un ensemble de carte de sondage à haute fréquence (24); un générateur de signaux de contrôle (26) servant à générer des signaux d'entrée (28) qui sont appliqués, par l'intermédiaire de l'ensemble d'interface (22) et de l'ensemble de carte de sondage (24), à un dé de circuit intégré en cours de contrôle; un analyseur de signaux de réaction (34) servant à analyser les signaux de réaction (36) qui ont été produits en réponse aux signaux d'entrée (28) et conduits par l'intermédiaire de l'ensemble de carte de sondage (24) et de l'ensemble d'interface (22); une horloge (38) servant à produire des signaux d'horloge (40) commandant le fonctionnemet de l'ensemble d'interface (22) et de la carte de sondage (24) et synchronisant la durée relative de la production des signaux d'entrée (28) et de la réception des signaux de réaction (36); un palpeur de tranche (42) servant à positionner la tranche de circuit intégré en cours de contrôle; une alimentation en courant (50); et un ordinateur pilote (44).
申请公布号 EP0548279(A1) 申请公布日期 1993.06.30
申请号 EP19910918667 申请日期 1991.09.06
申请人 CRAY COMPUTER CORPORATION 发明人 HUPPENTHAL, JON
分类号 G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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