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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05163568(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910352015 申请日期 1991.12.13
申请人 NEC HOME ELECTRON LTD 发明人 KATSUTA SHINICHI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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