| 发明名称 | 用于化学机械抛光的组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种抛光组合物,它由A1<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>/SiO<SUB>2</SUB>复合体基金属氧化物粉末、去离子水和添加剂组成,所述金属氧化物粉末包括A1<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>/SiO<SUB>2</SUB>复合体作为主要组份。本发明抛光组合物具有很高的去除速率,并在抛光后不产生微划痕,适用于器件晶片表面的全面平整化。 | ||
| 申请公布号 | CN1296049A | 申请公布日期 | 2001.05.23 |
| 申请号 | CN00109525.0 | 申请日期 | 2000.06.29 |
| 申请人 | 第一毛织株式会社 | 发明人 | 李吉成;金硕珍;李在锡;张斗远 |
| 分类号 | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/302 | 主分类号 | C09G1/02 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 丁业平;王维玉 |
| 主权项 | 1．一种抛光组合物，包含Al2O3/SiO2复合体基金属氧化物粉末、去离子水和添加剂，所述金属氧化物粉末包括Al2O3/SiO2复合体作为主要组份。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道 | ||