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发明名称 SURFACE TREATMENT OF SPUTTERED ALUMINA FILM
摘要
申请公布号 JPH05163569(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910330313 申请日期 1991.12.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIZAWA MARIKO;HAMANO MEGUMI;OTAKE MITSUYOSHI;WATANABE MASAHIRO
分类号 C23C14/08;C23C14/58 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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