| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR930005944(B1) |
申请公布日期 |
1993.06.29 |
| 申请号 |
KR19890014450 |
申请日期 |
1989.10.07 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD. |
发明人 |
IMAOKA, KAZUNORI;FUJISAWA, YOICHI |
| 分类号 |
B24B9/06;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
B24B9/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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