| 主权项 |
1.一种浮上搬运装置,其特征在于包括:基部,具备板状之搬运面并沿着该搬运面搬运板状基体;第一喷出装置,藉着自该搬运面喷出气体令板状基体自搬运面浮上而且令板状基体沿着该搬运面移动;以及第二喷出装置,为了将利用第一喷出装置浮上之板状基体保持搬运面之中心位置而喷出气体。2.如申请专利范围第1项之浮上搬运装置,其中该第二喷出装置具备沿着该搬运面上之两侧配置之两个侧方喷出部和供给这两个侧方喷出部气体之供给系,该各侧方喷出部具备复数向该搬运面之中心方向喷出气体之喷出孔。3.如申请专利范围第2项之浮上搬运装置,其中该各侧方喷出部系可朝该搬运面之中心方向移动。4.如申请专利范围第1项之浮上搬运装置,其中该第二喷出装置具备如隔着该搬运面之中心般配置于该搬运面而且朝该搬运面之中心方向喷出气体之两个面侧喷出部和供给这两个面侧喷出部气体之供给系。5.如申请专利范围第4项之浮上搬运装置,其中该各面侧喷出部沿着该搬运面具备至少一列喷出孔列,该喷出孔列朝该搬运面之中心设置复数列,该各喷出孔列具备朝该搬运面之中心喷出气体而且沿着该搬运面列之复数喷出孔。6.如申请专利范围第4项之浮上搬运装置,其中该各面侧喷出部沿着该搬运面具备至少一列喷出缝隙列,该喷出缝隙列朝该搬运面之中心设置复数列,该各喷出缝隙列具备朝该搬运面之中心喷出气体而且沿着该搬运面排列之复数喷出缝隙。图式简单说明:第一图系表示实施例1之浮上搬运装置之基部之平面图。第二图系表示第一图之I-I剖面之剖面图。第三图系表示第一图之II-II剖面之剖面图。第四图系用于说明气体之喷出状况之说明图。第五图系用以说明利用所喷出之气体调芯之状况之说明图。第六图系表示实施例2之浮上搬运装置之基部之剖面图。第七图系表示实施例3之浮上搬运装置之基部之平面图。第八图系表示第七图之III-III剖面之剖面图。第九图系表示实施例3之喷出装置之立体图。第十图系表示实施例4之喷出装置之立体图。第十一图系表示实施例5之浮上搬运装置之基部之剖面图。第十二图系表示实施例6之浮上搬运装置之基部之平面图。第十三图系表示第十二图之IV-IV剖面之剖面图。第十四图系表示第十二图之缝隙部分之立体图。第十五图系表示在实施例7使用之喷出缝隙构造之平面图。第十六图系表示第十五图之V-V剖面之剖面图。第十七图系表示第十六图之槽之立体图。第十八图系表示第十六图之遮蔽板之剖面之剖面图。第十九图系表示第十六图之遮蔽板之底面之下视图。第二十图系表示习知之板状基体搬运系统之平面图。第二十一图系表示习知之移送单元之立体图。第二十二图系表示第二十一图之XI-XI剖面之剖面图。第二十三图系表示第二十一图之XII-XII剖面之剖面图。第二十四图系表示习知之移送单元之喷出方向之说明图。 |
