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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05163567(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910350201 申请日期 1991.12.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HOSAKA SHIGETOSHI;SUDA TADATOSHI;HARA MASAMICHI
分类号 H01L21/203;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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