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发明名称 METHOD FOR UNIFORMING LIGHT QUANTITY DISTRIBUTION IN SHAPE MEASUREMENT
摘要
申请公布号 JPH05164989(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910351385 申请日期 1991.12.13
申请人 NIPPEI TOYAMA CORP 发明人 TACHIKAKE YUJI
分类号 G02B27/10;G01B11/24;G02B27/48;G02B27/52 主分类号 G02B27/10
代理机构 代理人
主权项
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