发明名称 HIGH-FREQUENCY ION PLATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05163566(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910328874 申请日期 1991.12.12
申请人 JEOL LTD 发明人 ITO YOJI;KINDAICHI YOUZOU
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址