发明名称 Process for manufacture of MOS gated device with self aligned cells
摘要
申请公布号 GB2318685(B) 申请公布日期 2002.01.02
申请号 GB19970022653 申请日期 1997.10.24
申请人 * INTERNATIONAL RECTIFIER CORPORATION 发明人 DANIEL M * KINZER
分类号 H01L21/28;H01L21/332;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/423;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/08 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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