发明名称 SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05164511(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910329073 申请日期 1991.12.12
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD;HITACHI LTD 发明人 FUKUCHI YASUHIKO;HASHIMOTO AKIRA;HAZAKI EIICHI
分类号 G01B7/34;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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