发明名称 THREAD GROOVE MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH05164087(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910330297 申请日期 1991.12.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 UCHIDA RIICHI;KAMETANI HIROCHIKA;NAYA KOTARO
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
地址