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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05163575(A) 申请公布日期 1993.06.29
申请号 JP19910350779 申请日期 1991.12.12
申请人 NEC CORP 发明人 OBATA TAKESHI;BABA KAZUHIRO
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;H05H1/32 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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