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发明名称
LOGIC INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH05157818(A)
申请公布日期
1993.06.25
申请号
JP19910348630
申请日期
1991.12.06
申请人
NEC CORP
发明人
IKEDA KATSUJI
分类号
G01R31/28;H01L21/66;H01L27/10
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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