发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05160119(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910324289 申请日期 1991.12.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MAEDA ATSUSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/316;H01L21/76 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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