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发明名称 ELEMENT ISOLATION
摘要
申请公布号 JPH05160118(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910322093 申请日期 1991.12.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HAYASHI TAKANAO;OONO MORIFUMI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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