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发明名称
SELF-ALIGNED CONTACT STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH05160062(A)
申请公布日期
1993.06.25
申请号
JP19910326239
申请日期
1991.12.11
申请人
NEC CORP
发明人
NAMITA HIROMITSU
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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