发明名称 SELF-ALIGNED CONTACT STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05160062(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910326239 申请日期 1991.12.11
申请人 NEC CORP 发明人 NAMITA HIROMITSU
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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