发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05160125(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910319306 申请日期 1991.12.03
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIYAMA YUKIO;SUGURO KYOICHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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