发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05160382(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910321830 申请日期 1991.12.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIROSE SATOSHI;UENO MASAFUMI;KUNORI YUUICHI;SAKAKIBARA KIYOHIKO;NISHIOKA YASUTAKA
分类号 H01L27/148;H01L31/10 主分类号 H01L27/148
代理机构 代理人
主权项
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