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发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH DEVICE AND METHOD OF GROWING CRYSTAL USING SAID DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05160040(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910319474 申请日期 1991.12.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SANDOUU ADARUSHIYU
分类号 C23C16/48;C23C16/44;G01R31/26;H01L21/205;H01L21/66 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
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