发明名称 INTEGRATED CIRCUIT AND ITS PREPARATION
摘要
申请公布号 JPH05160270(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910202540 申请日期 1991.07.17
申请人 HEWLETT PACKARD CO <HP> 发明人 DONARUDO AARU BURATSUDOBARII;GEERII DABURIYUU REI;DAAKU JIEI BAATORINKU
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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