发明名称 AUTOMATIC WASHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05160101(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910320335 申请日期 1991.12.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAMOTO SATORU
分类号 H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址