发明名称
摘要
申请公布号 JPH0542105(B2) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19860062713 申请日期 1986.03.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIMORI AKIRA;YAMAMOTO TAKU
分类号 G01N27/62;H01J49/04;H01J49/10;(IPC1-7):H01J49/10 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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