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发明名称 DEVICE FOR INSPECTING PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH05157790(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910320632 申请日期 1991.12.04
申请人 TOKYO KASOODE KENKYUSHO:KK 发明人 KATO MAMORU;TAKEUCHI OSAMU;FUJII MASAYUKI;KAKIMOTO ATSUHIRO;HASHIMOTO TSUTOMU;OTA SADACHIKA;OOSAO SHINJI;NAGANO NOBORU
分类号 G01R1/073;G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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