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经营范围
发明名称
SPIN COATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH05160018(A)
申请公布日期
1993.06.25
申请号
JP19910319486
申请日期
1991.12.04
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KAWAGUCHI KAZUYUKI
分类号
B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/316
主分类号
B05D1/40
代理机构
代理人
主权项
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