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METHOD AND DEVICE FOR ANALYZING OPERATION OF INTEGRATED CIRCUIT WITH FOCUSED ION BEAM
摘要
申请公布号
JPH05160212(A)
申请公布日期
1993.06.25
申请号
JP19910320793
申请日期
1991.12.04
申请人
SEIKO INSTR INC
发明人
MINAFUJI TAKASHI
分类号
G01R31/28;G01R31/303;H01J37/252;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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