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发明名称 DRY ETCHING METHOD OF ALUMINUM MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH05160082(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910183426 申请日期 1991.06.28
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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