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发明名称
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申请公布号 JPH0541922(B2) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19860260189 申请日期 1986.10.31
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 TSUNO KATSUSHIGE
分类号 G01B7/34;G01Q30/02;G01Q60/10;H01J37/141;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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