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经营范围
发明名称
FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05160025(A)
申请公布日期
1993.06.25
申请号
JP19910341700
申请日期
1991.12.02
申请人
HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
ORITSUKI RYOJI;TORITSUKA TAKEMI;AOKI DAIYA;MURAMATSU FUMIO;TAKEDA TOMOHIKO
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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