发明名称 METHOD OF MEASURING PHOTOSENSITIVE MATERIAL MASK
摘要
申请公布号 JPH05159702(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910324784 申请日期 1991.12.09
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAGUCHI ETSUJI;MIYAZAKI HIDEKI;SAWADA TAKEHIRO
分类号 H01J9/227;H01J9/42 主分类号 H01J9/227
代理机构 代理人
主权项
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