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发明名称 SINGLE CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05160225(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910324628 申请日期 1991.12.09
申请人 MITSUBISHI KASEI POLYTEC CO;MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 OKADA HIDEO;YAMADA YUTAKA;IBUKA TOSHIHIKO;ORITO FUMIO
分类号 H01L21/265;H01L21/66 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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