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发明名称 FURNACE TUBE
摘要
申请公布号 JPH05160055(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910344168 申请日期 1991.12.03
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 OKUMURA SHINJI;NAGAHAMA TOSHIO
分类号 H01L21/31;H01L21/22 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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