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发明名称
ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号
KR930005735(B1)
申请公布日期
1993.06.24
申请号
KR19900006892
申请日期
1990.05.15
申请人
NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
发明人
NOKAMI, MAMORU;NISHIKAWA, KATSUHIRO
分类号
H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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