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发明名称 TARGET FUER MAGNETRON-KATHODENZERSTAEUBUNGSANLAGEN.
摘要
申请公布号 DE58904394(D1) 申请公布日期 1993.06.24
申请号 DE19895004394 申请日期 1989.04.22
申请人 DEGUSSA AG, 6000 FRANKFURT, DE 发明人 WEIGERT, MARTIN, DR. DIPL.-PHYS.;BERCHTOLD, LORENZ, DR. DIPL.-ING., W-6450 HANAU 9, DE;SCHITTNY, STEFAN ULRICH, DR. DIPL.-ING., W-8755 ALZENAU-KAELBERAU, DE
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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