ROTABLE ION CONTROLLING ELECTRODE ASSEMBLY WITH NO OFFSET OR DEFLECTION OF LOW ENERGY ELECTRONS FOR A SCANNING ELECTRON BEAM COMPUTED TOMOGRAPHY SCANNER

摘要

Un système de balayage à faisceau d'électrons (8) produisant un faisceau d'électrons (12) dans une chambre relativement courte (10) comprend un ensemble (44) à électrodes de commande des ions lequel est situé entre un canon à électrons (32) et un système optique (38) du faisceau. L'ensemble (44) comprend une unité ("RICE") à électrodes de commande des ions à champ rotatif de forme conique (46) disposée entre une première unité (50) ("ICE") à électrodes de commande des ions et une seconde unité (50') ("ICE") à électrodes de commande des ions. La RICE et les ICEs comprennent chacune des paires d'éléments qui sont disposées symétriquement sur les côtés opposés de l'axe Z (28) de la chambre, formant de préférence des polygones réguliers en coupe transversale. En faisant varier les potentiels de polarisation, on fait tourner le champ électrique de RICE pour éliminer de manière régulée un grande partie des ions positifs mais pas tous. Les ions restants améliorent la densité espace-charge du faisceau d'électrons, ce qui se traduit par un faisceau homogène dans une chambre relativement courte et par un faisceau d'électrons de balayage à focalisation fine.