降低导电薄膜表面粗糙尖端的方法

摘要

一种平坦化导电薄膜的方法于此揭露。首先形成导电薄膜于基板之上表面。接着，施加偏压于导电薄膜上，并同时对导电薄膜进行乾式蚀刻，使导电薄膜表面的粗糙尖端因尖端放电效应，产生较大的电场，而在局部产生较高的蚀刻率以达到表面平坦化的效果。