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发明名称 MESSSPITZEN-MANIPULATOR FUER WAFERMESSGERAETE.
摘要
申请公布号 DE58904442(D1) 申请公布日期 1993.06.24
申请号 DE19895004442 申请日期 1989.06.10
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 7800 FREIBURG, DE 发明人 SCHMIDT, HANS, W-7841 AUGGEN, DE;GUENTER, HELMUT, W-7800 FREIBURG-MUNZINGEN, DE
分类号 H01L21/66;G01R1/067;(IPC1-7):G01R1/067 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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