发明名称 PROCESS FOR PRODUCING WELLS FOR CMOS-TRANSISTOR CIRCUITS SEPARATED BY ISOLATION TRENCHES
摘要
申请公布号 EP0303050(B1) 申请公布日期 1993.06.23
申请号 EP19880110886 申请日期 1988.07.07
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MAZURE-ESPEJO, CARLOS-ALBERT, DR.;NEPPL, FRANZ, DR.;ZELLER, CHRISTOPH, DR.
分类号 H01L21/76;H01L21/033;H01L21/308;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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