一种加速度传感器

摘要

一种内装集成电路和霍尔器件的加速度传感器，是在金属壳体内的上侧固装悬丝，在悬丝的另一端悬挂有用稀土永磁材料制成的磁摆，磁摆的下方是稀土永磁材料的静磁体，在磁摆与静磁体之间有其上刻有薄膜霍尔器件的集成电路硅片，壳体下侧引出有多个金属插针。该敏感器结构简单，灵敏度极高，体积小巧，性能稳定，使用寿命长。

主权项

1、一种内装集成电路的、用霍尔器件制作的加速度传感器，包括有壳体、霍尔器件、集成电路和磁摆，其特征是：用钢丝制作的悬丝一端固装在金属壳体的上侧，另一端悬挂有用稀土永磁材料制成的磁摆，在该磁摆的下侧是其上刻有薄膜霍尔器件的集成电路硅片，该硅片放置在用稀土永磁材料制成静磁体的顶部，金属壳体的下侧则引出有多个金属插针。