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发明名称 PROCESS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF TRANSITION METAL NITRIDES
摘要
申请公布号 EP0503001(A4) 申请公布日期 1993.06.23
申请号 EP19910901979 申请日期 1990.11.28
申请人 PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 发明人 GORDON, ROY, G.;FIX, RENAUD;HOFFMAN, DAVID PROF
分类号 C01B21/06;C23C16/34;(IPC1-7):C23C16/34;C23C16/46 主分类号 C01B21/06
代理机构 代理人
主权项
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