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发明名称 OVERPRESSURE-PROTECTED, DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR AND METHOD OF MAKING THE SAME
摘要
申请公布号 US5220838(A) 申请公布日期 1993.06.22
申请号 US19910676914 申请日期 1991.03.28
申请人 THE FOXBORO COMPANY 发明人 FUNG, CLIFFORD D.;CHAU, KEVIN H.-L.;HARRIS, P. ROWE;PANAGOU, JOHN G.;DAHROOGE, GARY A.
分类号 G01L13/06;G01L9/00;G01L19/06 主分类号 G01L13/06
代理机构 代理人
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