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发明名称 DEVICE FOR TREATING CLUSTER TYPE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05156440(A) 申请公布日期 1993.06.22
申请号 JP19910320789 申请日期 1991.12.04
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 YAMANE KEIICHI
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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