| 发明名称 |
PRODUCTION OF GETTERING WAFER HAVING LAMINATION DEFECT GENERATING NUCLEI AND SILICON WAFER PRODUCED BY THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05155700(A) |
申请公布日期 |
1993.06.22 |
| 申请号 |
JP19910320787 |
申请日期 |
1991.12.04 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
IKARI ATSUSHI;HAGA HIROTSUGU |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B33/02;H01L21/322 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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