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发明名称 MEASURING APPARATUS FOR PATTERN DEFECT
摘要
申请公布号 JPH05157533(A) 申请公布日期 1993.06.22
申请号 JP19910347693 申请日期 1991.12.04
申请人 CITIZEN WATCH CO LTD 发明人 FUJITA HIROO
分类号 G01B11/24;G01B11/245 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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