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发明名称 NON CONTACT MEASURING METHOD OF STEP DIFFERENCE AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH05157524(A) 申请公布日期 1993.06.22
申请号 JP19910349255 申请日期 1991.12.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUOKA TAKASHI
分类号 G01B9/04;G01B11/06;G01B11/22;G02B21/00;G02B21/02 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
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