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发明名称
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
KR930005504(B1)
申请公布日期
1993.06.22
申请号
KR19930003963
申请日期
1993.03.16
申请人
HITACHI LTD.
发明人
KATO, HISAO;SUKIURA, JUN;HORINO, NOJOMI;ENDO, AKIRA;TAKEUCHI, YOSHIHARU;ARAKAWA, YUJI
分类号
H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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