发明名称 打线用引线之起始球形成方法及打线装置
摘要 在打线用引线之起始球形成方法及打线装置中将铜作为打线对象。打线装置50,系具备插穿引线12之毛细管16,将第1直流高压电源56之开关ON,以在引线12前端与放电电极52之间产生空中放电,引线12前端由于放电而熔融形成球状之球基。其次,将第2高压电源66之开关ON,以在熔点比引线低之被覆材料所构成的一对电离气体形成电极60a、60b之间产生空中放电,而形成含有锡离子之电离气体。藉由使球基被包含于电离气体内部,来形成球基表面附着锡、表面附着低熔点被覆材料的起始球58。
申请公布号 TWI269391 申请公布日期 2006.12.21
申请号 TW092113800 申请日期 2003.05.22
申请人 新川股份有限公司 发明人 西浦信一;仓光昭;宫野文男
分类号 H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 林镒珠 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 1.一种打线用引线之起始球形成方法,其特征在于:在引线与放电电极之间施加第1放电电压,使引线前端熔融形成球状之球基;在熔点比引线低之被覆材料所构成之电离气体形成电极对之间施加第2放电电压,以将球基包含在内部之方式形成被覆材料之电离气体,使球基之表面附着被覆材料。2.如申请专利范围第1项之打线用引线之起始球形成方法,其中,该第1放电电压,系使引线相对放电电极形成正电位之直流高电压。3.如申请专利范围第1项或第2项之打线用引线之起始球形成方法,其中,该被覆材料,系以锡或铟为主成分之低熔点材料。4.如申请专利范围第1项或第2项之打线用引线之起始球形成方法,其中,该引线,系以金或铜为主成分之低熔点材料。5.如申请专利范围第3项之打线用引线之起始球形成方法,其中,该引线,系以金或铜为主成分之低熔点材料。6.一种打线装置,其特征在于具备:毛细管,插穿有引线,使引线突出前端并予以定位;引线对向之放电电极;第1放电电压施加机构,使引线相对放电电极形成正电位并施加第1放电电压,使引线前端熔融形成球状之球基;电离气体形成电极对,由熔点比引线低之被覆材料所构成;及第2放电电压施加机构,在电离气体形成电极对之间施加第2放电电压,以将球基包含在内部之方式形成被覆材料之电离气体,使球基之表面附着被覆材料。7.如申请专利范围第6项之打线装置,其中,该被覆材料,系以锡或铟为主成分之低熔点材料。8.如申请专利范围第6项或第7项之打线装置,其中,该引线,系以金或铜为主成分。图式简单说明:图1,系表示本发明之实施形态之打线装置中形成表面附着低熔点被覆材料的起始球之情形的图。图2,系说明球基形成制程的图。图3,系说明被覆制程的图。
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