制作一半透半反薄膜晶体管液晶显示器的方法

摘要

本发明一种制作一半透半反薄膜晶体管液晶显示器的方法，先提供一薄膜晶体管液晶显示器的基板，且基板表面限定至少一反射区、一透射区以及一外部电路接合区，接合于基板表面形成一保护层以及一第一光阻层，并利用一第一黄光和蚀刻工序来限定保护层以及第一光阻层的图形，以及使反射区内的第一光阻层残膜高于透射区的表面。接合于基板表面形成一透明导电层、一反射层以及一第二光阻层，且第二光阻层在透射区内的厚度大于其在反射区内的厚度。之后利用一第二黄光和蚀刻工序来限定透明导电层、反射层以及第二光阻层的图形。随后再去除透射区内的第二光阻层、反射层，直至透明导电层表面。

主权项

1.一种制作一半透半反薄膜晶体管液晶显示器的方法，该显示器包括一基板，该基板表面限定至少一反射区、一透射区以及一外部电路接合区，该反射区包括一薄膜晶体管，该外部电路接合区包括一外部电路接合电极，该方法包括下列步骤：在该基板表面形成一保护层以及一第一光阻层，并利用一第一黄光和蚀刻工序来限定该保护层以及该第一光阻层的图形，以在该反射区内形成一第一开口通至该薄膜晶体管表面，在该外部电路接合区内形成一第二开口通至该外部电路接合电极表面，以及使该反射区内的该第一光阻层残膜高于该透射区的表面；在该基板表面形成一透明导电层、一反射层以及一第二光阻层，且该第二光阻层在该透射区内的厚度大于该第二光阻层在该反射区内的厚度；利用一第二黄光和蚀刻工序来限定该透明导电层、该反射层以及该第二光阻层的图形，以在该反射区内形成一第三开口；以及去除该透射区内的该第二光阻层、该反射层，直至该透明导电层表面。